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IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀
本產品是同類產品中的高精確度高品質臭氧分析儀，它目前主要用於半導體、芯片、CVD，ALD等領域。由於它優異的品質，使得它成為那些需要長時期、高穩定地提供連續測量和工藝控制的客戶的正確選擇，長期使用的所有者成本低。是監測氣體發生設備、氣櫃、氣體輸送系統以及半導體設備的臭氧濃度的理想選擇。也可用於環境監測、職業衛生和科學研究。
主要特點：
微機控制 • 紫外吸收技術
可訂購多達5個取樣點 壓力和溫度補償能力
內置現場編程，可編次序 • 定光學系統
每通道4-20mA隔離輸出 • 每通道雙報警
主要技術規格
取樣點數量：1，3或5個內置式多通道閥
量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可選。
精度等級：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)，
分辨率高：0.001ppm(0-1PPM)，0.01ppm(0-10PPM)
流量：內置泵，流量可調（不大於2L/m）
輸出：模擬4～20mA，以及數字輸出
CE認証；內部自；RS-232通訊接口
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